低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
低溫等離子體工作原理：
等離子體中包含大量的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。同時產生的大量•OH、•HO2、•O等活性自由基和氧化性極強的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，然后生成無害產物。
低溫等離子體產品性能特點：
1、科技含量高，引進國外先進技術。
2、模塊設計、靈活簡便，安裝簡單，占地面積小。
3 、放電強度大，產生高能等離子體密度大。
4 、聯合等離子體中光子的協同作用較傳統的電暈放電和DDBD，更加高效的降解廢氣。
5、空氣阻力小，減少壓降損失。耗電量小。
6、適用于多數的惡臭廢氣和有機廢氣，降解率高。
7、電極不與處理廢氣直接接觸，使用壽命長。
8、不宜用于高溫高濕度的氣體，大風量情況下不建議使用。
9、“低溫等離子體”設備組合性強：可以竄并聯混合應用，在處理高濃度異味氣體時能發揮明顯優勢。
低溫等離子體廣泛用于：治理油煙粉塵領域，如大型火力發電廠、卷煙廠、紡織廠、印刷廠、造紙廠、鋼鐵廠、水泥廠等。治理廢氣、異味氣體領域，如污水、垃圾處理廠、泵站、石化廠、化工廠、制藥廠、卷煙廠、香精廠、屠宰場等。
